苏州干式真空泵 干式旋片真空泵

一、产品应用
　　1.低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；
　　2.半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；
　　3.除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；
　　4.在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵；
　　5.用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。

二、分类：
　　干式真空泵主要有下列几种形式：
　　1）干式螺杆真空泵
　　2）无油往复真空泵
　　3）爪式真空泵
　　4）无油涡旋真空泵

三、联系方式
联系人：唐经理
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座机：0512-5792 6008
传真：0512-5792 6926
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